技術參數
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Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2
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垂直量程
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±50μm、±200μm兩檔可調
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系統分辨力
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50um量程的分辨力1納米,400um量程的分辨力8納米
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顯示分辨率
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0.001μm
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濾波方式
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GAUSS、2RC、ISO13565
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符合標準
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ISO1997、ANSI、JIS2001
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評定長度Ln
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Ln = (1~5)L
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示值誤差
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10%
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示值重復性
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6%
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存儲
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可存儲10組測量結果
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工作環境
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溫度0 ~ 40℃ 濕度<90%RH
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儲運環境
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溫度﹣40℃~60℃ 濕度<90%RH
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重 量
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760g
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外型尺寸
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156 X75 X 56mm
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傳感器驅動套
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29 X26 X 120mm
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